Two scientists working in a laboratory looking at mirror discs

MEMS

微机电系统 （MEMS） 是医疗保健、汽车技术和消费电子等领域创新背后的微型动力。其精密的微观元件需要精确的封装和耐用的保护，才能在苛刻的环境中可靠地工作。在肖特，我们提供旨在保护 MEMS 技术的先进解决方案。
极小的微机电系统 (MEMS)

MEMS 封装

随着 MEMS 组件尺寸越来越小、功能越来越强大，对同样微小的封装解决方案的需求也日益提高。 肖特提供多种玻璃材料和密封封装元件及技术，如肖特 Primoceler 提供的高精度 TO PLUS® 以及玻璃微键合。 这些可靠的封装选项可保持长期气密性，保护 MEMS 免受热损害和机械损害。

产品
Scientist holding a circular mirror looking at their reflection

MEMS反射镜

采用 MEMS 技术的电磁驱动反射镜被广泛应用于通信和智能安全行业。这些反射镜非常脆弱，必须防止潮湿和灰尘颗粒，但又需要高性能的光学接口。MEMpax®、D263® 和 BOROFLOAT® 等超薄玻璃是镜面基板的理想选择，而我们的密封玻璃窗盖和微电子封装使 MEMS 反射镜能够在具有挑战性的环境中发挥最佳性能。

产品
Microscopic pressure sensor for MEMS package

压力传感器

肖特拥有无与伦比的产品组合，不仅能够保护 MEMS 传感器免受环境影响，还为传感器本身提供多种功能组件。MEMpax® 和 BOROFLOAT® 是平板且高度均匀的硼硅酸盐玻璃，非常适用于阳极键合，而 FLEXINITY® 则是结构化晶圆和玻璃基板的创新产品系列。

产品