Two SCHOTT employees transport a large cylindrical quartz glass component

前端处理耗材

高纯度石英是半导体制造中的关键材料，尤其广泛应用于前端工艺的各类耗材中。肖特公司提供从标准纯度到超高纯度的石英基材，并可定制近净形产品，以满足先进工艺的需求。
Quarzglas Rohr

等离子刻蚀设备

等离子刻蚀技术利用高能等离子体对材料进行刻蚀，可实现薄膜材料的精确去除与图案化。石英环在刻蚀过程中起到隔离、保护和刻蚀腔内固定作用，防止刻蚀气体污染腔室和晶圆，确保刻蚀工艺的稳定性与均匀性。肖特石英材料广泛应用于等离子刻蚀设备，是腔室零配件的关键材料。

Quartz Glass for Epitaxy

外延设备

外延技术是指在芯片制造过程中，于衬底晶片上生长新晶体以形成外延薄膜层的技术。不透明石英玻璃是外延腔室配件的理想选择。凭借其低传热和低导热特性，肖特不透明石英玻璃被应用于主流外延设备中。

Quarzglas Opak

扩散设备

扩散是指利用热扩散原理，在高温条件下按工艺要求将杂质元素引入硅衬底的过程。该过程具有特定的浓度分布，可改变硅材料的电学特性。肖特电熔石英材料因其极低的OH含量和低碱金属含量，成为扩散工艺的理想选择。

想了解半导体领域石英如何成为您的解决方案？让我们聊聊吧！

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Man in glasses in business office on phone while working on laptop_330x190.jpg

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